Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие: Юрий Родионов
Оцените и оставьте рецензию
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. При
Полная аннотация
Все характеристики
Аннотация
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве.
Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры "Электроника и наноэлектроника", "Конструирование и технология электронных средств".
2-е издание, стереотипное.
Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры "Электроника и наноэлектроника", "Конструирование и технология электронных средств".
2-е издание, стереотипное.
Характеристики
ID товара
795532
ISBN
978-5-507-46956-7, 978-5-8114-5788-5, 978-5-8114-9566-5
Язык
Русский
Страниц
220 (Офсет)
Вес
420 г
Размеры
242x172x14 мм
Тип обложки
7Бц - твердая, целлофанированная (или лакированная)
Иллюстрации
Черно-белые
Все характеристики
Ожидается2 830
Рецензии на книгу
Читали книгу? Как она вам?
+50 ₽ за рецензию
Вы можете стать одним из первых, кто напишет рецензию на эту книгу, и получить бонус — до 50 рублей на баланс в Лабиринте!
Книги из серии Радиоэлектроника и приборостроение
1 0432 085 -50% Еще 4 дня
1 1092 218 -50% Еще 4 дня
1 1112 221 -50% Еще 4 дня
1 1352 269 -50% Еще 4 дня
1 1822 363 -50% Еще 4 дня
1 2202 439 -50% Еще 4 дня
1 3082 616 -50% Еще 4 дня
1 3302 660 -50% Еще 4 дня
1 3302 660 -50% Еще 4 дня
1 3302 660 -50% Еще 4 дня
1 3762 752 -50% Еще 4 дня
1 8803 760 -50% Еще 4 дня
1 9383 875 -50% Еще 4 дня
2 2174 434 -50% Еще 4 дня
3 0056 010 -50% Еще 4 дня
3 7367 471 -50% Еще 4 дня
Книги из жанра
450900 -50% Еще 4 дня
2 8435 685 -50% Еще 4 дня
9791 958 -50% Еще 4 дня
7541 508 -50% Еще 4 дня
1 2622 524 -50% Еще 4 дня
7541 508 -50% Еще 4 дня
1 0932 185 -50% Еще 4 дня
7081 416 -50% Еще 4 дня
8851 770 -50% Еще 4 дня
324647 -50% Еще 4 дня
7541 508 -50% Еще 4 дня
9701 939 -50% Еще 4 дня
2 4274 854 -50% Еще 4 дня
7621 524 -50% Еще 4 дня
7621 524 -50% Еще 4 дня
8471 693 -50% Еще 4 дня
9701 939 -50% Еще 4 дня
489978 -50% Еще 4 дня
1 4002 800 -50% Еще 4 дня
9541 908 -50% Еще 4 дня
7541 508 -50% Еще 4 дня
7541 508 -50% Еще 4 дня
2 4994 997 -50% Еще 4 дня
